一般单筒显微镜金相显微镜仅需配用单色光，并在试样上装置标准平面玻璃就可以做多光束干涉的金相研究。多光束干涉显微镜的光程如图3，它与一般金相显微镜的构造基本相同。标准平面玻璃靠样品的一面涂有半透明的银（或铝）的薄膜，又称为干涉试片，干涉试片可以是平面的，或不同曲率的。如MeF显微镜备有六个具有不同反射能力及不同曲率半径的试片，使用时要根据观察物的表面曲率及对光的吸收能力进行选择。见表1：有强反射能力的试样（如金属），应选用涂银半透明的试片；当物体为凹入形状时，应选表面为凸起形状的试片，目的是使干涉试片与物体尽可能靠近。
为了得到细而清晰的干涉条纹，发展了多光束干涉显微镜。即使光线在两平行（或近乎平行）的平面问多次反射而产生多光束干涉。以显示磨面上更微小的高度差。
多光束干涉显微装置要求入射光为单色强平行光，紫外物镜且尽可能垂直入射试样表面；干涉平面必须非常均匀地喷镀一层金属薄膜，并且镀层应具有高反射系数及低吸收率；两反射面问的距离愈小愈好，zui大不超过入射光波长的几倍。
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