长焦显微镜以裂像聚焦指示器为测量原理, 采用高精度光学聚焦点检测方式进行非接触高低差测量.不仅可以对准目标影像, 还能观察测量点的表面状态,对高度,深度,高低差等进行测量.本仪器的各种镜筒还具有明暗场,微分干涉,偏光的观察功能.所以对极细微的间隙高低差,夹杂物、微米以下的突起、细微划痕进行观察.
长焦显微镜是用来测量微小距离或微小距离变化的.新泰科仪器INTEKE.CN其构造分为机械部分和光具部分是一个长焦显微镜,装在一个由丝杆带动的滑动如上,这个滑动台连同显微镜可以按不同方向安装.可以对准前方、上下、左右移动;或对准下方,左右移动.滑动台安装在一个大底座上.(图1-13)长焦显微镜的量程一般为几个厘米,分度值为0.001厘米.常见的一种长焦显微镜的机械部分是根据螺旋测微器原理制造的,一个与螺距为1毫米的丝杆联动的刻度圆盘上有关100个等分格.因此,它的分度值是0.001厘米.还有一种类型是用带0.01毫米标尺的测量目镜来测量微小位移.
长焦显微镜的操作步骤:
1.将长焦显微镜适当安装,对准待测物;
2.调节显微镜的目镜,以清楚地看到叉丝(或标尺);
3.调节显微镜的聚集情况或移动整个仪器,使待测物成像清楚,并消除视差,即眼睛上下移动时,看到叉丝与待测物成像清楚,并清除视差,即眼睛上下移动时,看到叉丝与待测物成的像之间无相对移动;
4.先让叉丝对准待测物上一点(或一条线)A,记下读数;转动丝杆,对准另一点B,再记下读数,两次读数之差即AB 之间的距离.注意两次读数时丝杆必须只向一个方向移动,以避免螺距差.
1.长焦显微镜的精度在出厂时已调整好,不允许自行拆装,由此而影响该显微镜的读数精度由客户负责.
2.长焦显微镜存放和使用时,应避免灰尘,潮湿和有腐蚀性气体的环境中.
3.把长焦显微镜置于元件上当显微镜与工件置于一起时手不要抖动因为显微镜与工件的结合不是很紧固稍不注意会造成读数误差把透光孔对向光亮处;
4.通过旋转螺母使标线沿X轴左右移动;
5.标线与压痕的两侧分别相切此时标线走过的距离即为压痕直径;
长焦显微镜是用来测量微小距离或微小距离变化的其构造分为机械部分和光具部分是一个长焦显微镜装在一个由丝杆带动的滑动如上这个滑动台连同显微镜可以按不同方向安装可以对准前方上下左右移动或对准下方左右移动滑动台安装在一个大底座上;
用途:适用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片测试、半导体材料、线束加工蚀刻、液晶电池盖、导线框架等产品的检查观察.也适用于经过磨抛、化学处理的工件表面的金相组织结构,几何形状进行显微观测.并且有三维的测量功能,其解析率达0.0005mm.因此是精密零件,集成电路,半导体芯片,光伏电池,光学材料等行业的*仪器.
