真空电动位移台电控平移台精密电动移动平台
产品不含控制器,控制器单独订购
产品型号 | PZ110-30 | PZ110-50 | PZ110-75 | ||
结 构 描 述 | 行程 | 30mm | 50 mm | 75 mm | |
台面尺寸 | 90×90mm | 90×110mm | 90×110mm | ||
螺杆规格 | 研磨丝杆(导程1 mm) | ||||
导轨 | 精密交叉滚柱导轨 | ||||
真空电机 | |||||
主体材料 | 铝合金 | ||||
表面处理 | |||||
台面承载 | 15kg | 20 kg | |||
重量 | 1.25kg | 1.4kg | 1.7kg | ||
精 度 描 述 | 分辨率 | 5μ(无细分) 0.25μ(20细分) | |||
速度 | 10mm/sec | ||||
重复定位精度 | 5μ | ||||
定位精度(选配光栅) | 10μ | ||||
直线度 | 8μ | 12μ | |||
运动平行度 | 15μ | ||||
俯仰 | 25″ | ||||
偏摆 | 20″ | ||||
回程间隙 | 2μ | ||||
丢步 | 2μ | ||||
附 件 描 述 | 可加装限位开关和光耦开关 | ||||
可加装光栅尺(G) | |||||
可换装伺服电机(D) | |||||
PZ110-30
PZ110-50
PZ110-75
真空电动位移台电控平移台精密电动移动平台