产品参数：
| 探针台台体 | •主体材质采用进口航空铝，表面喷砂氧化，具备优质的机械性能 •整机外形尺寸：约580mmL*480mmW*620mmH，重量大约50kg •U型平台镀镍设计，增大了针座的加载空间，且提高了针座平台和针座之间的吸附力 •Chuck X/Y轴丝杆采用双螺母防回程差设计,带防尘盖以保护丝杆持久顺畅。 •Chuck行程：4英寸*4英寸，精度10um •Chuck大小：4英寸，中心吸附孔和多圈吸附环固定样品，均独立控制 •Chuck可以上下快速升降5mm，便于样品快速分离探针。chuck微调升降，行程6mm，精度1微米，方便使用探针卡时扎针。（大波轮+摇杆设计） •Chuck镀金，具备更小的接触电阻 •卡盘的旋转角度：360度，调节精度0.1°（带刻度尺和角度锁死装置） •卡盘电学独立悬空，带两个4mm香蕉头插口，成180度对角设计，可以作为背电极方便测试垂直器件 •高刚性龙门架结构，便于显微镜的移动，行程2英寸*2英寸，精度1um，带显示器支架 •显微镜气动升降50.8mm，便于更换物镜(需要压缩空气)/显微镜快速倾仰，便于更换物镜，带重力自动锁定功能（匹配金相显微镜时使用） •带接地端子，可有效防止静电对测试的影响 •台体底板带高性能防震海绵，可一定程度减小外界震动对测试的干扰 •探针台与显示器一体化设计，大大减小了设备的占地空间 •整机人体工程学设计，操作简单，使用便捷 |
| 显微镜 | •Motic高解析度长工作距离显微镜，可加载激光 •变焦 1X~2X •目镜: 10X，•双目距调节范围52-75mm •物镜：5X (WD：34mm，NA:0.14),10 X (WD ：33.5mm，NA:0.28),20 X (WD ：20mm，NA:0.42) •显微镜光学放大倍数=目镜*物镜*变焦倍率，倍率范围：50X~400X（更换其它物镜可使倍率范围更广） •CCD接口,CCD接口形式为C Mount形式 •手动物镜切换鼻轮（四孔） •显微镜调焦机构：Z 轴移动行程 50.8 mm，同轴旋钮调节，细调精度优于1微米 •150W独立照明光源，亮度可以无极调节。 •防静电功能：架台，变倍镜筒，10X目镜，辅助物镜等都具有防静电功能，这个功能在观察需要防静电的样品时（如半导体芯片等）很有用（若使用此功能时，可通过架台后面的地线插口将显微镜接地） •密封功能：变倍镜筒，10X目镜都具有密封功能，当显微镜在油汽，水汽等湿度较高的环境中仍能较方便的使用 •创建性人机学设计，更加保证操作者长时间舒适操作具有高清晰度，大视场，长工作距离等特点，广泛应用与教学示范，生物工程，IT产业检测等领域 |
| CCD成像系统 | •双输出，可同时支持HDMI接口和USB接口 •200万像素高清CCD成像系统 •内置芯片：Sony IMX385(C) 1/2"(7.2x4.05) •分辨率达：1920*1080 •FPS/分辨率：60@1920*1080(HDMI) •FPS/分辨率：50@1920*1080(USB) •可拍照，录像，测量等 •带HDMI视频线缆，带显示器 •三孔电源线，可有效接地，减小静电对测试的影响 |
| 探针座 | •主体材质采用进口航空铝，表面喷砂氧化，具备优质的机械性能 •采用进口交叉滚珠导轨，高刚性结构，弹簧消隙 •采用进口高分辨率微分头驱动，100 牙/英寸 •X/Y/Z轴行程：12.5mm，精度：0.7μm •底部可调磁性底座，磁性吸附可达10Kg以上，保证扎针的稳定性 •带接地端子，可有效防止静电对测试的影响 •带线夹固定块，便于固定三同轴线缆，防止抖动 •可选配升级真空吸附 |
| 探针座 | •主体材质采用进口航空铝，表面喷砂氧化，具备优质的机械性能 •采用进口交叉滚珠导轨，高刚性结构，弹簧消隙 •采用进口高分辨率微分头驱动，100 牙/英寸 •X/Y/Z轴行程：12.5mm，精度：0.7μm •底部可调磁性底座，磁性吸附可达10Kg以上，保证扎针的稳定性 •带接地端子，可有效防止静电对测试的影响 •带线夹固定块，便于固定三同轴线缆，防止抖动 •可选配升级真空吸附 |
| 三轴接口管状夹具 | • 三轴接口管状夹具 •配合屏蔽箱漏电精度能达 100FA •三轴设计，带Force，Guard和Ground •采用Trompeter 高屏蔽三同轴电缆 TRC-50-1 •线长2.0米，带叁轴公接口 •带4mm倾仰机构，调节点测角度：0-30° |
| 探针 | •2微米针尖直径的探针，5PC/BOX |
| 真空泵 | •静音无油真空泵 7 升/分钟 •到达真空度:-33.3kPa（ -250mmHg） •用于吸附样品 |
| 运保费 | 运费+保险 |
| 安装调试 | 原厂售后工程师现场安装调试与培训，质保18个月。 |
产品结构：
